İnce filmler üzerinde kendiliğinden oluşan Ag2S ve In2O3 filmlerinin optik özelliklerinin incelenmesi

Yücel M. B., Kavcar N.

Türk Fizik Derneği 13. Ulusal Fizik Kongresi, Eskişehir, Turkey, 30 September - 02 October 1992, pp.131

  • Publication Type: Conference Paper / Full Text
  • City: Eskişehir
  • Country: Turkey
  • Page Numbers: pp.131
  • Akdeniz University Affiliated: No

Abstract

Vakumda ısısal buharlaştırma tekniği ile kuvars taşıyıcılar üzerine In, cam taşıyıcılar üzerine Ag-Cu ve yine cam üzerine CuInSe2 filmler kaplandı. Cu filmler yaklaşık 2000 A, CuInSe2 filmler 1 mikron kalınlığındadır. Ag ve In filmleri kalınlıkları ise sırasıyla 15-800 A, 60-2000  aralığında değerlere sahiptir. Bu örnekler vakumdan çıkarıldıktan hemen sonra ve olağan laboratuvar ortamında tutulurken belirli periyodlarla elipsometrik ölçümler yapıldı. Tam elipsometri eşitlikleri ve komputür programı uygulanarak alt katmanın ve filmler üzerinde zamanla kendiliğinden oluşan doğal oksit ince filmlerin optik özellikleri belirlendi. Ag filmler üzerinde oluşan Ag2S, In ve CuInSe2 filmler üzerinde oluşan In2O3 filmlerinin büyüme hızları için ampirik bağıntılar türetildi.