Measurement of 27.12MHz + 1.94MHz Capacitively Coupled H Discharge Density Profile

HELHEL S., ÖKSÜZ L.

XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, Hollanda, 1 - 04 Temmuz 2005, cilt.1, sa.1, ss.1

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 1
  • Basıldığı Ülke: Hollanda
  • Sayfa Sayıları: ss.1
  • Akdeniz Üniversitesi Adresli: Hayır