Measurement of 27.12MHz + 1.94MHz Capacitively Coupled H Discharge Density Profile
XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, Hollanda, 1 - 04 Temmuz 2005, cilt.1, sa.1, ss.1
- Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
- Cilt numarası: 1
- Basıldığı Ülke: Hollanda
- Sayfa Sayıları: ss.1
- Akdeniz Üniversitesi Adresli: Hayır