Multiple Frequency Analysis of Capacitively Coupled RF Plasma

Atıf İçin Kopyala

HELHEL S., ÖKSÜZ L.

ELECO 2005, Türkiye, 1 - 04 Aralık 2005, cilt.1, sa.1, ss.1

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Cilt numarası: 1
• Basıldığı Ülke: Türkiye
• Sayfa Sayıları: ss.1
• Akdeniz Üniversitesi Adresli: Hayır