Multiple Frequency Analysis of Capacitively Coupled RF Plasma

HELHEL S., ÖKSÜZ L.

ELECO 2005, Türkiye, 1 - 04 Aralık 2005, cilt.1, sa.1, ss.1

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 1
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.1
  • Akdeniz Üniversitesi Adresli: Hayır