Axial Density Profile of 27 Mhz Capacitively Coupled Rf Plasma; Power And Pressure Dependence, International Journal of Engineering and Applied Sciences
INTERNATIONAL JOURNAL OF ENGINEERING AND APPLIED SCIENCES, cilt.1, sa.4, ss.40-50, 2009 (Hakemli Dergi)
- Yayın Türü: Makale / Tam Makale
- Cilt numarası: 1 Sayı: 4
- Basım Tarihi: 2009
- Dergi Adı: INTERNATIONAL JOURNAL OF ENGINEERING AND APPLIED SCIENCES
- Sayfa Sayıları: ss.40-50
- Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu
- Akdeniz Üniversitesi Adresli: Evet