Axial Density Profile of 27 Mhz Capacitively Coupled Rf Plasma; Power And Pressure Dependence, International Journal of Engineering and Applied Sciences

---

Atıf İçin Kopyala

HELHEL S.

INTERNATIONAL JOURNAL OF ENGINEERING AND APPLIED SCIENCES, cilt.1, sa.4, ss.40-50, 2009 (Hakemli Dergi)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 1 Sayı: 4
• Basım Tarihi: 2009
• Dergi Adı: INTERNATIONAL JOURNAL OF ENGINEERING AND APPLIED SCIENCES
• Sayfa Sayıları: ss.40-50
• Akdeniz Üniversitesi Adresli: Evet